產(chǎn)品詳情
真空限位開關(guān)：高真空環(huán)境的可靠位置檢測(cè)專家
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想deepspaceinno專業(yè)用于真空環(huán)境的機(jī)械/非接觸式限位開關(guān)，采用超低出氣材料和全密封設(shè)計(jì)，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中提供穩(wěn)定可靠的位置檢測(cè)信號(hào)，確保真空設(shè)備的運(yùn)行安全和精度控制。
1. 真空適應(yīng)性設(shè)計(jì)
- 超低出氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種密封材料
- 全密封結(jié)構(gòu)：焊接密封或特殊密封工藝，出氣率＜10?11 Pa·m3/s
- 耐高溫處理：支持150℃以上烘烤除氣工藝
- 潔凈設(shè)計(jì)：表面特殊處理，防止微粒脫落
2. 檢測(cè)技術(shù)方案
- 機(jī)械式：特種合金觸點(diǎn)，使用壽命＞100萬次
- 接近式：真空兼容霍爾/光電傳感器
- 磁性式：真空專用磁鋼+磁敏元件組合
- 冗余設(shè)計(jì)：雙觸點(diǎn)/雙傳感器配置可選
技術(shù)參數(shù)
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴(kuò)展）
- 響應(yīng)時(shí)間：機(jī)械式＜10ms，電子式＜2ms
- 接觸電阻：＜50mΩ（機(jī)械式）
- 絕緣電阻：＞100MΩ（500VDC）
- 防護(hù)等級(jí)：IP68等效密封性能
主要應(yīng)用場景
- 半導(dǎo)體設(shè)備：
- 晶圓傳輸機(jī)械臂極限位置檢測(cè)
- 真空閥門開閉狀態(tài)監(jiān)測(cè)
- 工件臺(tái)行程末端保護(hù)
- 真空鍍膜系統(tǒng)：
- 擋板位置檢測(cè)
- 基片裝載到位確認(rèn)
- 旋轉(zhuǎn)臺(tái)限位保護(hù)
- 科研儀器
- 電子顯微鏡樣品臺(tái)限位
- 加速器組件位置檢測(cè)
- 真空實(shí)驗(yàn)裝置安全保護(hù)
- *業(yè)真空設(shè)備：
- 真空爐門位置檢測(cè)
- 物料傳輸限位控制
- 真空泵運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)
選型指南
1. 環(huán)境參數(shù)確認(rèn)
- 工作真空度等級(jí)
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級(jí)）
2. 技術(shù)規(guī)格選擇
- 檢測(cè)方式：機(jī)械/接近/磁性
- 安裝方式：螺紋安裝/法蘭安裝/定制接口
- 輸出信號(hào)：常開/常閉/晶體管/繼電器
- 動(dòng)作力：根據(jù)機(jī)械負(fù)載選擇
3. 可靠性要求
- 是否需要冗余設(shè)計(jì)
- 防誤動(dòng)作要求
- 使用壽命要求
4. 特殊需求
- 防爆要求
- EMC兼容性
- 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)需求
安裝建議
1. 位置布置：避免直接面對(duì)氣流沖擊位置
2. 布線設(shè)計(jì)：使用真空兼容電纜和連接器
3. 調(diào)試驗(yàn)證：安裝后需進(jìn)行真空環(huán)境功能測(cè)試
4. 定期維護(hù)：建議每6個(gè)月檢查密封狀態(tài)
質(zhì)量保證
- 每批產(chǎn)品真空出氣率測(cè)試
- 全溫域功能驗(yàn)證測(cè)試
- 壽命循環(huán)測(cè)試報(bào)告
- 完整的材質(zhì)分析報(bào)告
服務(wù)支持
- 提供真空應(yīng)用方案設(shè)計(jì)
- 支持定制化產(chǎn)品開發(fā)
- 專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)現(xiàn)場支持
- 快速響應(yīng)售后服務(wù)
深空創(chuàng)想科技真空限位開關(guān)——在高真空環(huán)境中提供可靠的位置檢測(cè)與安全保護(hù)，確保您的真空設(shè)備精確運(yùn)行、安全可靠！**
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想deepspaceinno專業(yè)用于真空環(huán)境的機(jī)械/非接觸式限位開關(guān)，采用超低出氣材料和全密封設(shè)計(jì)，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中提供穩(wěn)定可靠的位置檢測(cè)信號(hào)，確保真空設(shè)備的運(yùn)行安全和精度控制。
1. 真空適應(yīng)性設(shè)計(jì)
- 超低出氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種密封材料
- 全密封結(jié)構(gòu)：焊接密封或特殊密封工藝，出氣率＜10?11 Pa·m3/s
- 耐高溫處理：支持150℃以上烘烤除氣工藝
- 潔凈設(shè)計(jì)：表面特殊處理，防止微粒脫落
2. 檢測(cè)技術(shù)方案
- 機(jī)械式：特種合金觸點(diǎn)，使用壽命＞100萬次
- 接近式：真空兼容霍爾/光電傳感器
- 磁性式：真空專用磁鋼+磁敏元件組合
- 冗余設(shè)計(jì)：雙觸點(diǎn)/雙傳感器配置可選
技術(shù)參數(shù)
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴(kuò)展）
- 響應(yīng)時(shí)間：機(jī)械式＜10ms，電子式＜2ms
- 接觸電阻：＜50mΩ（機(jī)械式）
- 絕緣電阻：＞100MΩ（500VDC）
- 防護(hù)等級(jí)：IP68等效密封性能
主要應(yīng)用場景
- 半導(dǎo)體設(shè)備：
- 晶圓傳輸機(jī)械臂極限位置檢測(cè)
- 真空閥門開閉狀態(tài)監(jiān)測(cè)
- 工件臺(tái)行程末端保護(hù)
- 真空鍍膜系統(tǒng)：
- 擋板位置檢測(cè)
- 基片裝載到位確認(rèn)
- 旋轉(zhuǎn)臺(tái)限位保護(hù)
- 科研儀器
- 電子顯微鏡樣品臺(tái)限位
- 加速器組件位置檢測(cè)
- 真空實(shí)驗(yàn)裝置安全保護(hù)
- *業(yè)真空設(shè)備：
- 真空爐門位置檢測(cè)
- 物料傳輸限位控制
- 真空泵運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)
選型指南
1. 環(huán)境參數(shù)確認(rèn)
- 工作真空度等級(jí)
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級(jí)）
2. 技術(shù)規(guī)格選擇
- 檢測(cè)方式：機(jī)械/接近/磁性
- 安裝方式：螺紋安裝/法蘭安裝/定制接口
- 輸出信號(hào)：常開/常閉/晶體管/繼電器
- 動(dòng)作力：根據(jù)機(jī)械負(fù)載選擇
3. 可靠性要求
- 是否需要冗余設(shè)計(jì)
- 防誤動(dòng)作要求
- 使用壽命要求
4. 特殊需求
- 防爆要求
- EMC兼容性
- 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)需求
安裝建議
1. 位置布置：避免直接面對(duì)氣流沖擊位置
2. 布線設(shè)計(jì)：使用真空兼容電纜和連接器
3. 調(diào)試驗(yàn)證：安裝后需進(jìn)行真空環(huán)境功能測(cè)試
4. 定期維護(hù)：建議每6個(gè)月檢查密封狀態(tài)
質(zhì)量保證
- 每批產(chǎn)品真空出氣率測(cè)試
- 全溫域功能驗(yàn)證測(cè)試
- 壽命循環(huán)測(cè)試報(bào)告
- 完整的材質(zhì)分析報(bào)告
服務(wù)支持
- 提供真空應(yīng)用方案設(shè)計(jì)
- 支持定制化產(chǎn)品開發(fā)
- 專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)現(xiàn)場支持
- 快速響應(yīng)售后服務(wù)
深空創(chuàng)想科技真空限位開關(guān)——在高真空環(huán)境中提供可靠的位置檢測(cè)與安全保護(hù)，確保您的真空設(shè)備精確運(yùn)行、安全可靠！**
