歐姆龍成功事例 | 涂膠顯影熱盤多區(qū)高速同步均溫控制方案
應(yīng)用介紹
【行業(yè)】semi
【設(shè)備】涂膠顯影
【用途】通過機(jī)械手在各系統(tǒng)間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、烘烤、顯影、堅膜等工藝
應(yīng)用場景
對晶圓加工的熱盤進(jìn)行多溫區(qū)同步控溫。
解決課題
1、客戶設(shè)備處在潔凈室內(nèi)，柜內(nèi)空間有限，需要節(jié)省空間。
2、為了保證半導(dǎo)體晶圓的品質(zhì)(熱盤溫度不均可能導(dǎo)致晶圓變形等不良），需要熱盤整體高速同步升溫，熱盤各個區(qū)域溫度保持一致。
價值提案
核心產(chǎn)品：溫度控制單元 nx-tc
價值點1.
每臺單元支持8ch控制,僅30mm寬度，大大節(jié)省面積。同時搭配小型連接器端子臺xw2k，進(jìn)一步節(jié)省空間。
價值點2.
通過溫度均一fb實現(xiàn)高速設(shè)定且可保存多種配方，實現(xiàn)針對多種對象的均勻加熱的自動補(bǔ)償算法及溫度均一控制技術(shù)。各分區(qū)控溫精度達(dá)到了±0.1℃，溫度均一性達(dá)到了r=0.27。
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