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金剛石提純?cè)O(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
100 9980.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 北京 朝陽(yáng)區(qū)
  • 發(fā)布日期：2022-07-05
  • 訪問(wèn)量：859
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詳細(xì)參數(shù)
品牌ALICAT型號(hào)MC-500SCCM-D
原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
工作壓力50適用介質(zhì)氣體
工作溫度0-50測(cè)量范圍0-1000
精度等級(jí)1測(cè)量精度1
安裝形式參考說(shuō)明流量范圍1-1000
加工定制是外形尺寸是

產(chǎn)品詳情

金剛石提純?cè)O(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無(wú)應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計(jì)的輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
  • 可靠。氣體質(zhì)量流量控制器絕不會(huì)讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像第一天一樣。
  • 靈敏。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽?。氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
  • 兼容。氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項(xiàng)目設(shè)計(jì)提供更大的靈活性。


金剛石提純?cè)O(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器性能

  • 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
  • 可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
  • 校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
  • 可重復(fù)性：0.5%滿量程
  • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
  • 預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度



金剛石提純?cè)O(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器工作條件

  • 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化二氮（可通過(guò)串行連接選擇氣體）；訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
  • 工作溫度：0°C至+50°C
  • 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）
  • STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

金剛石提純?cè)O(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器包裝清單


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