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氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
100 7980.00元/臺(tái)
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  • 發(fā)貨地址： 北京 朝陽(yáng)區(qū)
  • 發(fā)布日期：2022-07-01
  • 訪問量：214
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詳細(xì)參數(shù)
品牌ALICAT型號(hào)MC-100SCCM-D
原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
工作壓力30適用介質(zhì)氣體
工作溫度0-50測(cè)量范圍1-500
精度等級(jí)1測(cè)量精度1
安裝形式參考說(shuō)明書流量范圍0-500
加工定制是外形尺寸是

產(chǎn)品詳情

氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

型號(hào)變體

  • 低壓損型號(hào)，最多60 psia（MCW系列）
  • 高壓型號(hào)，160-320 psia（MCQ系列）
  • 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
  • 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
  • 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見下文）

氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

閥門選項(xiàng)

您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

  • MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
  • MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
  • MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門。
  • MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級(jí)為303不銹鋼閥門，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門（PCA型）和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)


  • 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
  • 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
  • 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
  • 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

性能選項(xiàng)

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