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氮氣200SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國ALICAT氮氣質(zhì)量流量控制器

數(shù)量(臺) 價格
100 9800.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 北京 朝陽區(qū)
  • 發(fā)布日期：2022-07-01
  • 訪問量：243
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詳細參數(shù)
品牌ALICAT型號MC-200SCCM-D-N2
原理質(zhì)量流量計用途氣體流量計
工作壓力30適用介質(zhì)氮氣
工作溫度0-50測量范圍1SCCM-500SLM
精度等級1測量精度1
安裝形式參考說明書加工定制是
外形尺寸是

產(chǎn)品詳情

        氮氣200SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國ALICAT氮氣質(zhì)量流量控制器快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達其設(shè)定值，使其能夠抑制管線壓力波動，因而不會影響您的過程下游。定制化閥門選配項和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。

氮氣200SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國ALICAT氮氣質(zhì)量流量控制器

    

性能

  • 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
  • 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
  • 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 可重復(fù)性：0.2%滿量程
  • 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
  • 無需預(yù)熱時間

氮氣200SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國ALICAT氮氣質(zhì)量流量控制器

工作條件

  • 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度：-10°C至+60°C
  • 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單


氮氣200SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國ALICAT氮氣質(zhì)量流量控制器

配件（需另行訂購）


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