產(chǎn)品詳情
製品名シリコンウェハ溫度測(cè)定用放射溫度計(jì)型番IS12-Si
IS12Siはシリコンウェハ用フルデジタル放射溫度計(jì)です。
最速8msecの高速?gòu)甏?、短波長(zhǎng)での検出で、シリコンウェハの溫度を高精度で測(cè)定できます。
用 途
- シリコンウェハ専用に設(shè)計(jì)された放射溫度計(jì)です。
特 長(zhǎng)
- シリコンウェハ専用の放射溫度測(cè)定器
- 高速?gòu)甏穑ㄗ钏?0msec）が可能なので、溫度変化の激しい試料や高速で移動(dòng)する試料の溫度測(cè)定に適しています。応答速度は10sまで設(shè)定できます。
- 小スポット測(cè)定を?qū)g現(xiàn)しているので、小さい試料（サンプル）でも測(cè)定できます。
- 6種類の固定焦點(diǎn)レンズ、3種類の可動(dòng)焦點(diǎn)レンズを備えていますので、正確な溫度測(cè)定が可能となります。
- 完全デジタル回路で高い精度と安定性自由な溫度範(fàn)囲をスケーリングします。
- 値保持回路を內(nèi)蔵しているので、移動(dòng)物體の測(cè)定にも適しています。
- 固定焦點(diǎn)レンズと可動(dòng)焦點(diǎn)レンズを選択できます。
- 標(biāo)準(zhǔn)添付の専用計(jì)測(cè)ソフト（Windows用）でデータの記録とパラメータ設(shè)定ができます。
-
直視ファインダー內(nèi)の焦點(diǎn)スポットで、測(cè)定対象の位置を正確に家訓(xùn)できます。
また、より正確な位置確認(rèn)のためのレーザーパイロットライトもオプションで使用できるようになります。
仕 様
| 溫度範(fàn)囲 | 400～1300℃、400～900℃、350～1000℃、500～1800℃ |
|---|---|
| 検出波長(zhǎng) |
近赤外の狹波長(zhǎng)域（シリコンウェハの溫度測(cè)定用に最適な波長(zhǎng)を選択しています。） |
- インターフェースは、RS232またはバス接続ができるRS485を切り替え可能です。
基本システム構(gòu)成図
5/12/140シリーズ
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アクセサリー
 冷卻ジャケット |
 冷卻板 |
 エアパージ管 |
 ROT10 回転ミラースキャニング |
 ボール＆ソケット固定臺(tái) 鋼製 |
 ボール ソケット固定臺(tái) |
 LED デジタル表示器 |
 NG 0 DC24V電源裝置 |
