產(chǎn)品詳情
花籃也稱為晶圓盒，清洗盒，晶舟盒，wafer cassette，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于運(yùn)輸和存儲(chǔ)晶圓。也被稱為晶片載體，它們被設(shè)計(jì)用來(lái)容納或攜帶幾個(gè)相同尺寸的晶片，并可用于一系列材料以支持特定的應(yīng)用，如熱加工。真空棒通常用于將晶片收集和沉積在盒中，然后用盒在處理室和其他存儲(chǔ)容器之間轉(zhuǎn)移晶片。定制磁帶可以設(shè)計(jì)成與特定的系統(tǒng)或存儲(chǔ)容器接口。我司花籃ta-section="0" data-sentence="0" data-group="0-0">能夠容納一個(gè)到多個(gè)晶圓，通常最多可容納25個(gè)晶圓用于運(yùn)輸或存儲(chǔ)。ta-section="0" data-sentence="1" data-group="0-1">開(kāi)放式側(cè)壁結(jié)構(gòu)，便于晶圓處理。
PFA花籃獨(dú)特性能優(yōu)勢(shì)：
1. 金屬元素空白值低（鉛、鈾等元素含量＜0.01ppb）
2. 耐強(qiáng)腐蝕：耐各種有機(jī)溶劑和強(qiáng)酸強(qiáng)堿
3. 無(wú)溶出和析出，純凈無(wú)污染
4. 耐高低溫：-200至260℃
5. 耐絕緣、抗氧化、防靜電
可雷雕、可裝RFID 進(jìn)行載具和材料追蹤
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品名 |
耐溫范圍 |
特性 |
應(yīng)用實(shí)驗(yàn) |
| PFA花籃 |
-200至260℃ |
1.耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和各種有機(jī)溶劑 2.金屬元素空白值低 3.無(wú)溶出和析出 4.耐候性佳、不易應(yīng)力變形 5.耐磨、抗靜電性 6.有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性 |
半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。 |
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PTFE 花籃
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-200至250℃ |
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花籃尺寸 |
長(zhǎng)x寬x高 |
容量 |
槽間距 |
適 用 晶 圓 |
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50mm(2英寸)(有豆) |
142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
2 inch (?50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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50mm(2英寸)(無(wú)豆) |
142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
2 inch (?50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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2.5英寸 |
142(L)x79(W)x73(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
2.5 inch 晶圓 |
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75mm(3英寸) |
142.49(L)x94.36(W)x82.53(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
3 inch (?75mm) 晶圓 |
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100mm(4英寸) |
142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
4 inch (?100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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100mm(4英寸)(鏤空版) |
142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
4 inch (?100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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104mm(4.125英寸)(鏤空版) |
142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
4.125″ inch(?104mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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125mm(5英寸) |
152.4(L)x142.88(W)x146.05(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
5 inch (?125mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
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150mm(6英寸) |
143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
6 inch (?150mm)晶圓 |
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200mm(8英寸) |
203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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200mm(8英寸)(鏤空版) |
203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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150mm(6英寸) |
178(L)x144(W)x115(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
6 inch (?150mm)晶圓 |
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200mm(8英寸) |
234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm)晶圓 |
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150mm(6英寸) |
177(L)x145(W)x173(H)mm |
12PCS |
9.525mm |
6 inch (?150mm) 晶圓 |
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200mm(8英寸) |
203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm |
13PCS |
12.7mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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300mm(12英寸) |
350(L)x180(W)x320(H)mm |
13PCS |
10mm |
12 inch (?300mm) 晶圓 |
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200mm(8英寸) |
200(L)x228(W)x250(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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150mm(6寸) |
143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
6 inch (?150mm)晶圓 |
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178(L)x144(W)x115(H)mm |
25PCS |
4.76mm |
6 inch (?150mm)晶圓 |
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177(L)x145(W)x173(H)mm |
12PCS |
9.525mm |
6 inch (?150mm) 晶圓 |
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200mm(8寸) |
203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm)晶圓 |
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203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm |
13PCS |
12.7mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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200(L)x228(W)x250(H)mm |
25PCS |
6.35mm |
8 inch (?200mm) 晶圓 |
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300mm(12寸) |
350(L)x180(W)x320(H)mm |
13PCS |
10mm |
12 inch (?300mm) 晶圓 |
聚四氟乙烯系列產(chǎn)品：
四氟燒杯，四氟坩堝，四氟燒瓶，四氟藥匙，四氟鑷子，四氟培養(yǎng)皿，四氟蒸發(fā)皿，四氟接頭，四氟閥門，四氟酶標(biāo)板，四氟試劑瓶，四氟離心管，四氟漏斗，四氟容量瓶，四氟砝碼，四氟試管架、四氟攪拌棒，四氟藥勺，四氟布氏漏斗， 四氟消解瓶等。
南京濱正紅儀器有限公司
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