產(chǎn)品詳情
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura
品 牌：密析爾
產(chǎn) 地：英國
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura產(chǎn)品簡介
密析爾儀表目前向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120℃ (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura露點(diǎn)變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的首個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用場合，測量微量濕度水平的一體式變送器。
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura產(chǎn)品特點(diǎn)
測量下限-120℃露點(diǎn) (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便，設(shè)計(jì)緊湊小巧
VCR過程接口
顯示/報(bào)警單元可選
高純氣體露點(diǎn)變送器Pura技術(shù)參數(shù)
傳感器類型：密析爾陶瓷濕度傳感器
量 程：-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精 度：±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分 辨 率：0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1 ~
壓 力：最低 10-9 torr; 最大 24 MPa
氣體流量：1 ~ 5 Nl/min
電 源：通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大電流 25 mA
輸 出：4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
最大負(fù)載= 100Ω+ 50Ωx (V電源-8)
輸出出錯狀態(tài)：標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障；20 mA=超上限；4 mA=超下限
傳感器套筒：不銹鋼， 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口：Premium 或 OEM 型：¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型：½" m VCR 接口
安裝配置：Premium或OEM 型：120.00mm 長，氣路端口的端面密封。無需預(yù)留管路空隙
底座上有2個M4 x 0.7， 7mm 深的安裝孔，斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型：適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺 寸：Premium或OEM型：120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型：132 x
重 量：Premium或OEM型：450g
Pura Sensor 型：
包 裝：Pura：雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型：單層包裝
所有選配件：獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套，用以運(yùn)輸及操作
