產(chǎn)品詳情
ASML 4022.656.52022荷蘭
ASML 4022.656.52022荷蘭參數(shù)與性能解析
產(chǎn)品概述ASML 4022.656.52022是寧德潤恒自動(dòng)化供應(yīng)的一款半導(dǎo)體制造設(shè)備核心組件，專為先進(jìn)晶圓生產(chǎn)線設(shè)計(jì)。該設(shè)備集成ASML的光刻技術(shù)，具備納米級精度與產(chǎn)能，適用于7nm及以下制程的芯片制造。
核心參數(shù)
1.
分辨率：≤13nm（EUV技術(shù)）
2.
光源波長：13.5nm極紫外（EUV）光刻技術(shù)
3.
產(chǎn)能：≥200片/小時(shí)（標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
4.
對準(zhǔn)精度：≤2nm（全局套刻誤差）
5.
適用晶圓尺寸：300mm（兼容200mm）
6.
工作功率：80kW（峰值功率）
7.
環(huán)境要求：Class 1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)（ISO 14644-1）
技術(shù)優(yōu)勢
1.
EUV光刻技術(shù)：采用極紫外光源，突破傳統(tǒng)光學(xué)衍射極限，實(shí)現(xiàn)更高分辨率與更小線寬。
2.
雙工件臺：集成動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)系統(tǒng)，確保多層曝光套刻誤差≤3nm。
3.
智能化運(yùn)維：內(nèi)置AI算法實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，預(yù)測性維護(hù)降低宕機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
4.
模塊化設(shè)計(jì)：支持快速升級與維護(hù)，兼容ASML新工藝平臺。
應(yīng)用場景
●
邏輯芯片制造：適用于CPU、GPU及先進(jìn)SoC的7nm/5nm節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)
●
存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)：滿足3D NAND閃存的刻蝕需求
●
封裝技術(shù)：支持先進(jìn)封裝（如Chiplet）的光刻工藝
服務(wù)支持寧德潤恒自動(dòng)化提供全套解決方案：
●
設(shè)備安裝與調(diào)試
●
24/7遠(yuǎn)程技術(shù)支持
●
原廠認(rèn)證備件供應(yīng)
●
工藝優(yōu)化與培訓(xùn)服務(wù)
總結(jié)ASML 4022.656.52022憑借EUV技術(shù)的突破性性能與智能化運(yùn)維體系，為半導(dǎo)體廠商提供、穩(wěn)定的先進(jìn)制程解決方案。
ASML 4022.656.52022荷蘭
ASML 4022.656.52022荷蘭參數(shù)與性能解析
產(chǎn)品概述ASML 4022.656.52022是寧德潤恒自動(dòng)化供應(yīng)的一款半導(dǎo)體制造設(shè)備核心組件，專為先進(jìn)晶圓生產(chǎn)線設(shè)計(jì)。該設(shè)備集成ASML的光刻技術(shù)，具備納米級精度與產(chǎn)能，適用于7nm及以下制程的芯片制造。
核心參數(shù)
1.
分辨率：≤13nm（EUV技術(shù)）
2.
光源波長：13.5nm極紫外（EUV）光刻技術(shù)
3.
產(chǎn)能：≥200片/小時(shí)（標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
4.
對準(zhǔn)精度：≤2nm（全局套刻誤差）
5.
適用晶圓尺寸：300mm（兼容200mm）
6.
工作功率：80kW（峰值功率）
7.
環(huán)境要求：Class 1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)（ISO 14644-1）
技術(shù)優(yōu)勢
1.
EUV光刻技術(shù)：采用極紫外光源，突破傳統(tǒng)光學(xué)衍射極限，實(shí)現(xiàn)更高分辨率與更小線寬。
2.
雙工件臺：集成動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)系統(tǒng)，確保多層曝光套刻誤差≤3nm。
3.
智能化運(yùn)維：內(nèi)置AI算法實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，預(yù)測性維護(hù)降低宕機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
4.
模塊化設(shè)計(jì)：支持快速升級與維護(hù)，兼容ASML新工藝平臺。
應(yīng)用場景
●
邏輯芯片制造：適用于CPU、GPU及先進(jìn)SoC的7nm/5nm節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)
●
存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)：滿足3D NAND閃存的刻蝕需求
●
封裝技術(shù)：支持先進(jìn)封裝（如Chiplet）的光刻工藝
服務(wù)支持寧德潤恒自動(dòng)化提供全套解決方案：
●
設(shè)備安裝與調(diào)試
●
24/7遠(yuǎn)程技術(shù)支持
●
原廠認(rèn)證備件供應(yīng)
●
工藝優(yōu)化與培訓(xùn)服務(wù)
總結(jié)ASML 4022.656.52022憑借EUV技術(shù)的突破性性能與智能化運(yùn)維體系，為半導(dǎo)體廠商提供、穩(wěn)定的先進(jìn)制程解決方案。
ASML 4022.656.52022荷蘭
