產(chǎn)品詳情
ASML 4022.636.58061真空傳感器
參數(shù)詳解與應(yīng)用指南
ASML 4022.636.58061真空傳感器是一款高性能工業(yè)設(shè)備組件，專為精密真空環(huán)境檢測(cè)設(shè)計(jì)。本文將詳細(xì)介紹其核心參數(shù)、技術(shù)特性及適用場(chǎng)景，幫助用戶全面了解該傳感器的性能優(yōu)勢(shì)。
1. 核心參數(shù)與技術(shù)規(guī)格
型號(hào)：ASML 4022.636.58061 測(cè)量范圍：
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絕對(duì)壓力：10?3 mbar至1000 mbar（覆蓋高真空至粗真空范圍）
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相對(duì)壓力：0-100%大氣壓（可選配校準(zhǔn)模式） 精度等級(jí)：
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高真空段（<10?2 mbar）：±0.5% FS（滿量程）
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中真空段（10?2至10 mbar）：±1% FS
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低真空段（>10 mbar）：±2% FS 響應(yīng)時(shí)間：
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快速模式：≤1 ms（適用于動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)）
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標(biāo)準(zhǔn)模式：≤5 ms（默認(rèn)設(shè)置） 工作環(huán)境：
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溫度范圍：-40°C至85°C（寬溫域設(shè)計(jì)）
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防護(hù)等級(jí)：IP67（防塵防水） 電氣特性：
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供電電壓：24 VDC（±10%）
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輸出信號(hào)：4-20 mA模擬量 + RS485數(shù)字接口（MODBUS協(xié)議支持）
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功耗：≤2 W（靜態(tài)）
2. 技術(shù)亮點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
1.
多級(jí)校準(zhǔn)算法：內(nèi)置分段線性補(bǔ)償，確保全量程壓力測(cè)量的一致性精度。
2.
抗干擾設(shè)計(jì)：EMC防護(hù)等級(jí)達(dá)EN 61000-6-2標(biāo)準(zhǔn)，適用于工業(yè)電磁環(huán)境。
3.
長(zhǎng)壽命傳感單元：采用陶瓷膜片+濺射薄膜技術(shù)，抗腐蝕且耐用性≥10年。
4.
智能診斷功能：實(shí)時(shí)輸出壓力趨勢(shì)曲線及故障代碼（如過(guò)熱、零點(diǎn)漂移預(yù)警）。
3. 應(yīng)用場(chǎng)景
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半導(dǎo)體制造：晶圓刻蝕設(shè)備的真空腔體壓力監(jiān)控
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醫(yī)療設(shè)備：MRI磁體真空系統(tǒng)與粒子加速器的壓力控制
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工業(yè)真空泵：閉環(huán)反饋系統(tǒng)優(yōu)化泵組效率
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科研儀器：質(zhì)譜儀、真空鍍膜機(jī)的精密壓力檢測(cè)
4. 安裝與維護(hù)注意事項(xiàng)
1.
安裝時(shí)需避免機(jī)械應(yīng)力，推薦使用柔性連接管（附贈(zèng)M12接頭）。
2.
定期校準(zhǔn)周期建議每12個(gè)月一次，可使用ASML原廠校準(zhǔn)工具套件。
3.
極端溫度環(huán)境（>70°C）需搭配散熱片或強(qiáng)制通風(fēng)裝置。
結(jié)語(yǔ)
ASML 4022.636.58061真空傳感器憑借其寬量程、高精度及智能化設(shè)計(jì)，成為高端工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的優(yōu)選解決方案。如需技術(shù)選型支持或參數(shù)驗(yàn)證，可參考ASML官網(wǎng)文檔或聯(lián)系授權(quán)經(jīng)銷商獲取詳細(xì)測(cè)試報(bào)告。
