產(chǎn)品詳情
一.SJ6000激光干涉儀概述
SJ6000激光干涉儀可對機(jī)床、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
二.SJ6000激光干涉儀原理
從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱波長為0.633μm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。
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如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時(shí)探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計(jì)算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。
三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
