產(chǎn)品詳情
一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過(guò)高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
二.工作原理
一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長(zhǎng)度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對(duì)于分光鏡移動(dòng)，形成變化長(zhǎng)度測(cè)量光束。從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱波長(zhǎng)為0.633μm，長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測(cè)器中形成干涉光束。如果兩光程差不變化，探測(cè)器將在相長(zhǎng)干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號(hào)。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時(shí)探測(cè)器都能觀察到相長(zhǎng)干涉和相消干涉兩端之間的信號(hào)變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來(lái)，用于計(jì)算兩光程差的變化。測(cè)量的長(zhǎng)度等于條紋數(shù)乘以激光波長(zhǎng)的一半。應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長(zhǎng)將取決于光束經(jīng)過(guò)的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著氣溫、壓力和相對(duì)濕度的變化而變化，用于計(jì)算測(cè)量值的波長(zhǎng)值可能需要對(duì)這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實(shí)踐中，對(duì)于技術(shù)指標(biāo)中的測(cè)量精度，只有線性位移（定位精度）測(cè)量需要進(jìn)行此類補(bǔ)償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。
三.產(chǎn)品功能
激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。
激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量 元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。
四.技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
2 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
2 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
2 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
2 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
2 工作溫度范圍：0~40℃
2 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
2 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
2 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
2 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測(cè)量
2 測(cè)量距離：0-40m
2 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
2 測(cè)量分辨率：1nm
2 測(cè)量最大速度：4m/sec
角度測(cè)量
2 軸向量程：0-15m
2 測(cè)量范圍：±10°
2 測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
2 測(cè)量分辨率：0.1μm/m
直線度測(cè)量
2 軸向量程：0.1-4.0 m
2 測(cè)量范圍：±2.5 mm
2 測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
2 測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
2 測(cè)量范圍：±3/M mm/m
2 測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
2 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
平面度測(cè)量
2 軸向量程：0-15 m
2 測(cè)量范圍：±1.5 mm
2 測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
2 測(cè)量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
2 角度測(cè)量范圍：0-360°
2 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
2 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
2 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
