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?位移量同步比較動態(tài)測量儀器。如測量線位移和角位移的漸開線齒形檢査儀、絲杠動態(tài)檢査儀,以及測量角位移和角位移的齒形單面嚙合檢査儀、傳動鏈測量儀等。在這類儀器中,測量角位移絕大多數(shù)用光柵式傳感器,測量線位移也多數(shù)用光柵式傳感器。?髙精度機(jī)床上的線位移和角位移測量。如高精度的光學(xué)坐標(biāo)鏜床、長刻線機(jī)和圓刻線機(jī)等。?數(shù)控機(jī)床上的位移測量。當(dāng)前在數(shù)控機(jī)床的檢測系統(tǒng)中,光柵式傳感器用得很普遍,如數(shù)控車床、數(shù)控銑床,以及數(shù)控滾齒機(jī)等。



