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電子工業(yè)用氧化亞氮雜質(zhì)含量分析

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江蘇科海檢驗(yàn)有限公司

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氧化亞氮



尾氣中一氧化二氮的回收利用

制備N2O的主要方法熱分解法和氨 的接觸氧化法。據(jù)報(bào)道,目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)N2O基本都 是采用干法分解的生產(chǎn)工藝,該工藝也是目 前國(guó)際通用化流程,但是設(shè)備成本較高。

直接制 備得到的產(chǎn)品純度通常較低,經(jīng)純化后純度達(dá)到 99% 的產(chǎn)品能夠滿足藥物等領(lǐng)域的應(yīng)用,但對(duì)于微 電子領(lǐng)域而言,這樣的純度遠(yuǎn)不能夠達(dá)到指標(biāo)要求。 在N2O產(chǎn)品純化方面,已有相關(guān)研究報(bào)道了以 低純度N2O為原料,利用純化工藝制備高純N2O的 方法,并對(duì)低純度原料氣中的各種雜質(zhì)脫除進(jìn)行了 相關(guān)的實(shí)驗(yàn)研究。 多數(shù)化工企業(yè)為了達(dá)到環(huán)保要求,會(huì)在尾氣排 放前進(jìn)行N2O脫除處理。然而,考慮到N2O作為產(chǎn) 品的廣泛應(yīng)用前景以及直接制備該產(chǎn)品的成本問題,當(dāng)尾氣中N2O含量較高時(shí),如硝酸和己二酸生 產(chǎn)過程所產(chǎn)生的尾氣,選用直接脫除的處理方法雖 然可以滿足環(huán)保要求,卻也是一種對(duì)潛在資源的浪費(fèi)。因此,回收純化制備不同級(jí)別的N2O產(chǎn)品技術(shù) 已經(jīng)引起較多的關(guān)注,在滿足環(huán)保要求的同時(shí),利用 副產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)收益。目前,山東金博環(huán)??萍加邢薰?司以及金宏氣體同河南平頂山神馬集團(tuán)公司合作正 在籌劃建設(shè)產(chǎn)能可觀的尾氣回收純化N2O的工程項(xiàng)目。


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