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電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
GB/T 21287-2007電子工業(yè)用氣體 三氟化氮技術(shù)指標
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項目 |
指標 |
|||||
|
三氟化氮（NF3）,10-2?（體積分數(shù)）? |
≥ |
99.5 |
99.9 |
99.98 |
99.99 |
99.996 |
|
四氟化碳（CF4）,10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
1500 |
500 |
100 |
50 |
20 |
|
氮（N2），10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
700 |
50 |
10 |
10 |
5 |
|
氧+氬（O2+Ar），10-6（體積分數(shù)） |
≤ |
700 |
50 |
10 |
5 |
3 |
|
一氧化碳（CO），10-6 ?（體積分數(shù)） |
≤ |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
二氧化碳（CO2），10-6（體積分數(shù)） |
≤ |
25 |
10 |
10 |
5 |
0.5 |
|
氧化亞氮（N2O），10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
六氟化硫（SF6），10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
50 |
50 |
10 |
5 |
2 |
|
可水解氟化物（以HF計）或總酸度，10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
水（H2O），10-6?（體積分數(shù)） |
≤ |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
