產(chǎn)品詳情
C61型氣體質(zhì)量流量控制器和C61M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。
本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能優(yōu)秀，價(jià)格適中。
特點(diǎn)
±2％F.S.的準(zhǔn)確度
±0.2％F.S.的高重復(fù)精度
穩(wěn)定性和可靠性高
滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
應(yīng)用
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測(cè)試設(shè)備
主管道氣體的控制與計(jì)量
標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)定氣體：氮?dú)?span>(N2)
標(biāo)定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術(shù)參數(shù)
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基本型號(hào) |
C61 |
C61M |
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流量規(guī)格 eq \o\ac(○,1)1(N2標(biāo)定) |
0～30,50,100,150,200,250 SLM |
0～30,50,100,150,200,250 SLM |
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調(diào)節(jié)閥類型 |
常閉式 |
無(wú) |
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量程比 |
(2～100)％F.S. 或50:1 |
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流量分辨率 |
0.1％F.S. |
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準(zhǔn)確度 |
±2％F.S. |
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線性 |
±2％F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2％F.S. |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤5sec |
≤3sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.3MPa (≤100SLM) |
0.02MPa～2MPa (≤100SLM) |
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0.15～0.3MPa (＞100SLM) |
0.05MPa～2MPa (＞100SLM) |
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最大耐壓 |
2MPa |
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工作環(huán)境溫度 |
5～45℃ |
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電纜接頭 |
DB15pin(針形) |
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輸入輸出信號(hào) |
4～20mA或1～5V |
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供電電源要求 |
24VDC(400mA) |
24VDC(100mA) |
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對(duì)外單點(diǎn)泄漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
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介質(zhì)接觸材質(zhì) |
316，316L，密封填料 |
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密封材料 |
丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM |
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管道接頭尺寸 |
雙卡套型接頭：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm |
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外形尺寸 |
長(zhǎng)×寬×高：182×40×125 mm |
長(zhǎng)×寬×高：157×40×125 mm |
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凈重量 |
2.26kg |
1.16kg |
注 eq \o\ac(○,1)1：滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格，可以在30SLM～250SLM范圍內(nèi)任選，例如123SLM。
