產品詳情
MIH1000系列氣體混合配比儀的核心部件為氣體質量流量控制器,可以對各組份氣體的流量進行精確控制,并配備高效混氣裝置,可以將各組份氣體均勻混合后輸出。
本系列產品可選擇直接連電腦和采用觸摸屏兩種方式進行設定顯示,操作簡單,性能且價格具有競爭力,應用領域廣泛。
特點
●精度高:采用高精度質量流量控制器,質量流量控制器的精度 為±1%F.S、重復精度優(yōu)于±0.2% F.S.、線性優(yōu)于±0.5% F.S.(可定制更高精度)
●氣體種類數(shù)量無限制:可同時配制 2 種到 10 多種標準氣體
●稀釋比范圍寬:可從1ppm到 100%進行稀釋
●響應時間快:配比出穩(wěn)定濃度氣體的時間短,大大減少用戶試驗時間以及氣源消耗
●抗腐蝕:管路系統(tǒng)均采用標準 316L 不銹鋼配件,對腐蝕性氣體及有毒有害氣體均可以進行配氣
●混氣均勻:匯流處配有高效混氣裝置,讓進入其中的各支路氣體快速、均勻地混合
●擴展性強:除了氣體比例混合功能外,還可以根據用戶的一些特殊要求,加入定制功能,例如溫度,壓力顯示,濃度傳感等
●通訊方便:標準 RS485 通訊接口(可選),可與計算機實現(xiàn)雙向通訊
●數(shù)據管理功能:軟件控制界面可選帶有實驗數(shù)據保存與導出功能,讓您的實驗數(shù)據可隨時查看,而且還帶有實驗數(shù)據曲線圖,清晰明了,直觀便捷。
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功能 |
多路氣體配氣儀,動態(tài)配氣稀釋儀 |
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基本型號 |
MIH1000系列 |
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總氣量范圍 |
0~200SLM(可在此范圍內任意定制) |
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稀釋配比范圍 |
1ppm到100% |
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流量單位 |
SCCM (標準毫升/分) SLM(標準升/分) |
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精度誤差 |
±1%F.S.(可定制更高) |
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工作壓差范圍 |
0.1~0.5MPa |
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最大耐壓 |
3MPa(可定制更高) |
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漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
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響應時間 |
≤2 sec |
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輸出信號 |
標準RS485.RS232(可選) |
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介質輸入溫度 |
5~45℃ |
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工作環(huán)境溫度 |
5~45℃ |
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工作環(huán)境濕度 |
<80RH |
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供電電源 |
220VAC±10,50Hz |
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介質接觸材質 |
氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封型 |
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接頭尺寸 |
Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8φ10,φ12 |
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顯示方式 |
電腦/觸摸屏/儀表 |
應用
可廣泛用于氣體濃度傳感器校準、半導體以及特種材料研究(CVD)、等離子刻蝕、脫硫脫硝、焊接、氣調保鮮、消毒殺菌、醫(yī)療及微電子工業(yè)用混合氣的配制,主要使用對象是大中專 院校的實驗室、科研院所以及從事氣體分析儀器研發(fā)和氣體檢測領域的高新技術企業(yè)。

